國內技術力으로 半導體超音波自動化檢査裝備商用化

東亞日報
入力 2024年 1月 30日 03時 00分

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[強小企業이 未來다] ㈜엠아이티

경기 시흥시에 위치한 엠아이티 본사 로비 전경. — 京畿 시흥시에 位置한 엠아이티 本社 로비 前景.

半導體檢査는 半導體製造工程의 核心過程中 하나다. 半導體의 微細한 크랙은 機能檢査에서는 問題가 생기지 않지만 半導體가 自動車, 航空宇宙環境에서 變化를 겪으며 此後不良의 原因이 될 수 있다. 그만큼 半導體 칩, 패키지 또는 웨이퍼의 品質識別作業은 高度의 自動化와 精密畫를 要求한다. ㈜엠아이티는 國內最初로 超音波를 利用한 半導體前後公正自動化檢査裝備를 商用化해 國內外主要大企業에 供給하는 強小企業이다.

엠아이티는 半導體 웨이퍼 內層缺陷檢出用超音波自動化檢査裝備開發 및 商用化를 主力으로 하고 있다. 會社가 開發한 半導體超音波自動化檢査裝備는 半導體 웨이퍼 內層에 對한 接合面의 內部 보이드, 크랙, 剝離等의 缺陷을 全數檢査할 수 있는 非破壞方式裝備다. 超音波檢査方式은 從來 엑스레이 方式의 短點인 空氣層關聯不良檢出力이 卓越하다. 特히 엠아이티의 超音波自動化檢査裝備는 旣存手動式超音波檢査裝備에 비해 全數檢査가 可能해 99% 以上의 檢出率로 檢事效率性이 높다.

반도체 웨이퍼용 초음파 자동화 검사 장비. — 半導體 웨이퍼龍超音波自動化檢査裝備.

엠아이티의 差別的인 技術力人 ‘워터 홀더(댐) 融合을 通한 워터폴 方式具現’ 技術은 웨이퍼 基板 위에 물과 함께 超音波가 入社하는 方式으로 高速 스캔 및 高品位映像獲得이 可能하다. 또한 두 個의 超音波 프로브를 搭載한 ‘듀얼 프리퀀시 스캐닝을 통한 멀티 레이어 檢事’는 엠아이티만의 獨自的인 技術로 웨이퍼 基板接合面의 缺陷에 對한 檢出效率性이 優秀한 特許登錄技術이다. 엠아이티는 國産技術力으로 超音波檢査裝備開發에 成功해 그동안 外國系裝備大企業이 半導體分野에서 獨占해 온 輸入産裝備代替에 寄與하고 있다. 또 標準이 規格化돼 커스터마이징이 어려운 外産裝備와 달리 國內顧客社의 니즈에 맞게 맞춤 製作이 可能하다는 點도 높게 評價받는다.

엠아이티는 現在超音波關聯核心特許 44件을 出願해 28件을 登錄했고 이노비즈(革新企業) 認證을 確保했다. 2017年設立과 同時에 企業附設硏究所를 登錄하고 現在中小벤처企業部, 産業通商資源部主管의 國策課題 7件을 受注하는 等專門硏究開發人力과 國家 R&D 課題遂行에도 活潑히 參與中이다. 2022年에는 64億 원의 賣出을 達成했으며 賣出增加率은 16.5%로 成長勢를 이어가고 있다.

現在 엠아이티는 電力半導體 및 DCB 基板用超音波自動化檢査裝備의 開發을 完了하고 國內屈指의 大企業에 納品하고 있다. 電力半導體는 前歷이 必要한 곳에 必須的으로 活用되는 部品으로 自動車, 新재생에너지, 5G 移動通信網等産業核心技術로 發展할 것으로 豫想돼 向後 높은 市場性을 期待하고 있다.

최종명 엠아이티 代表는 “올해 下半期 IPO 準備에 들어갈 方針이며 尖端半導體分野의 品質 및 生産性確保로 半導體産業發展에 寄與할 것”이라고 抱負를 밝혔다.

박윤정 記者 ongoh@donga.com

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