出入 30分前 吸煙 禁止… 化粧도 못해

‘微細먼지 제로(zero) 環境으로 不良率 제로에 挑戰한다.’

極細(極細) 技術의 集合體인 半導體 生産 工程에서 淸淨(淸淨) 環境은 必須條件. 삼성전자와 하이닉스반도체 等 半導體 業體들은 原價 節減과 直結되는 生産收率을 높이기 위해 完璧한 ‘클린룸 시스템’ 構築에 持續的으로 投資하고 있다.

1Gb(기가비트)級 D램을 生産하는 工場 內部는 ‘클래스1’의 請程度가 維持돼야 한다.

클래스1은 가로 세로 높이가 各各 30cm인 正六面體 속에 直徑 0.5μm(마이크로미터·1μm는 100萬分의 1m)인 먼지가 1個 以下 있는 水準이다. 京畿道 面積의 땅에 500원짜리 銅錢 1個가 떨어져 있는 程度다.

사람이 生産라인으로 들어가기 위한 첫 段階인 ‘에어샤워룸(Air-shower Room)’은 天障과 兩쪽 壁面에서 秒速 25m(颱風은 最大 風速이 秒速 17m 以上)의 바람이 나와 微細먼지를 아래로 떨어뜨린다.

‘스幕룸(Smock Room)’에서 防塵服, 방진모, 防塵부츠, 防塵마스크, 2겹의 防塵掌匣 等을 着用한 뒤 ‘에어샤워룸’을 한 次例 더 通過해야 라인에 投入된다.

삼성전자의 京畿 용인시 鬐興工場 勤勞者들은 出入 30分 前부터 吸煙을 하면 안 되고 化粧도 禁止된다. 淸淨비닐로 2重 密封하던 旣存 半導體 製品 搬出 方法도 最近 ‘熱融着 自動 包裝機’가 導入되면서 不良率이 훨씬 줄었다.

이 會社 半導體總括 메모리事業部의 최재흥 常務는 “工場 請程度 維持는 半導體 收率을 높이기 위한 最優先 課題이기 때문에 守則을 徹底히 지켜야 한다”고 强調했다.

하이닉스는 지난해 國內 生産라인의 房진세트 供給에만 總 80億 원을 썼다.

特히 忠北 淸州의 300mm 웨이퍼 生産라인에는 FOUP(半導體 工程 間 웨이퍼 搬送用機)를 利用한 시스템을 適用했다. 이 시스템은 웨이퍼가 露出되는 FOUP 안쪽만 클래스1을 維持하고 FOUP 바깥은 클래스1000 水準만 維持하면 돼 請程度 維持費用이 크게 줄었다.

서울半導體度 生産라인 내 請程度 關聯 매뉴얼을 最近 更新해 事業部 職員을 對象으로 敎育을 實施했다.

김창덕 記者 drake007@donga.com