超高密度 集積回路 (Very-large-scale integration; VLSI )는 IC (集積回路) · LSI (高密度集積回路)로 發展되어 온 電子回路 部品의 小型 輕量化를 더욱 진전시킨 回路이나 集積度에 對한 境界線은 明確하지 않다. 가로·세로 6mm의 실리콘 基板 위에 10萬~100萬 個의 素子가 들어 있다. 高密度 集積 回路 와 4世代 컴퓨터 에 쓰이고 있다.
