3次元 集積 回路
(Three-dimensional integrated circuit,
3D IC
)는 16個 以上의 IC를 積層하고 TSV(Through Silicon Via) 等을 利用해 垂直으로 連結해 만든
MOS
(金屬酸化物半導體)
集積 回路
(IC)이다. 또는 Cu-Cu 連結을 使用하여 單一 裝置처럼 作動하여 旣存 2次元 프로세스보다 戰力을 줄이고 設置 空間을 줄이면서 性能 向上을 達成할 수 있다.
[1]
3D IC는 z 方向을 活用하여
마이크로일렉트로닉스
및
나노일렉트로닉스
에서 電氣的 性能 利點을 얻는 여러 3D 統合 方式 中 하나이다.
3D 集積 回路는 相互 連結 階層 構造 水準에 따라 글로벌(패키지), 中間(본드 패드) 및 로컬(
트랜지스터
) 水準으로 分類될 수 있다.
[2]
一般的으로 3D 統合은 3DWLP(3D 웨이퍼 레벨 패키징)와 같은 技術을 包含하는 廣範圍한 用語이다. (2.5D 및 3D 인터胞阻 基盤 統合, 3D 積層 IC(3D-SIC), 3D 異種 統合, 및 3D 시스템 統合
[3]
, 眞正한 모놀리식 3D IC뿐만 아니라)
JIC(Jisso Technology Roadmap Committee) 및 ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)와 같은 國際 組織에서는 다양한 3D 統合 技術을 分類하여 3D 統合의 標準 및 로드맵을 더욱 발전시키기 위해 努力해 왔다.
[4]
2010年代 들어서는 낸드
플래시 메모리
와
모바일 裝置
에 3D IC가 널리 쓰이고 있다.
같이 보기
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各州
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出處
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