나노프로빙
(
英語
:
nanoprobing
)은 主로 半導體 産業에서 쓰이며, 나노 크기의 텅스텐 와이어를 使用하는 特定한 限度의 電氣를 使用하여 抽出하는 方法이다. 나노프로브의 特旨은 製品 初期 硏究 段階에서나 디버그에 쓰이며, 엔지니어들과
集積回路
디자이너에게 매우 重要하다. 나노프로빙 技術은 生産量 向上과 品質, 信賴性, 顧客 리턴(customer return)을 위하여
障礙分析
硏究室에서 主로 行해지는 技術이다.상업적으로도 展望이 좋은 나노프로빙 技術은 眞空 基盤의
走査電子顯微鏡
이나
原子顯微鏡
에 統合, 聯動되어 쓰인다. 原子 顯微鏡 技術에 基盤을 둔 나노프로빙 시스템은 AFP(Atomic Force nanoprober)이라고 불린다.
