?? ?????????? ????????? ????
???? ???? ?????? ??????
???????
(HPCVD) ?? ????? ???? ???? ??? ?? ?????? ?? ???? ???? ?????? (PVD) ? ???? ???? ??????? (CVD) ???.
???? ????? ?? ??????? ???? ?? ????? ?????? (MgB2)? ??????? HPCVD ?? diborane (B2H6) ?? ????? ??? ??? ???? ??? ??????? ?????? ??? ?? ???? CVD ?????? ?? ???? ?? ????? ??? ??????? ??????? ????????? ?????? ??? (?????? ????) ???? Mg ?? ?????? ???? ???. ?? ?????? ?? ??? ???? ???? ????? ??????? ??? ????????? ? ????? ?????? ??? ??????? ?? ?? ?? ????? ????? ???? ?????? ? ??????? ?????? ???????.
???????? ?????
[
??????
]
????? HPCVD ??????? ???? ?? ???? ?????? ?? ?? ???? ????? ????? ????? ??? ? ?????? ????? ??????? ????? ????? ????? ??? ? ????? ????? ??? ? ????? ???? ???? ???.
????? ???? HPCVD ? ???? ????????? CVD ?? ???? ??????? ???. ???? HPCVD? ?? ?? ???? ? ???? ??? ???? ???? ????? ???? ??? ???????. ????? ?????? HPCVD ??????? ???? ?? ????? ????. ??????? ? ???? ???? ??? ?? ??? ?? ?????? ????? ???? ???????? ? ?? ???? ???? ?? ???? ?????? ?? ?????? ?? ????? ????? ??? ???????. ?????? ?? ???? ???? ???? ???? ??????? ??? ?????? ?
???? ????
???? ?? ?? ?????? ???? ????? ??????. ??? ??? ????????? ???? ???? ???? ??????? ? ?? ???? ???? ????? ??????. ?????? ?? ??? ??? ??? ????? ??? ?? ???? ???? ????? ???? ???????? ????? ???????? ???? ?? ??? ????. ???? ?? ????? ?????? ????? ?? ??? ????????? ????? ???. ????? ???? ????? ????? ???? ???? ???? ???? ??? ? ???? ??? ??? ?? ???????? ????? ????? ???. ????? ???? ???? ????? ??????? ???? ???? ??? ??? ????? ?????? ? ????????? ?????????? ??? ?? ????? ??????. ?? ?? ??????? HPCVD? ???? ???? ? ???? ???? ?? ????? ??????? ??? ??????? ???????? ???????? ????? ???????????? ?? ???? ?????????? ??? ????? ???.
?????? diboride ???? ???? HPCVD
[
??????
]
HPCVD ???????? ??? ???? ?????????? ???????? ???? ?? ????? ?????? (MgB2) ????????. ???? ???????????? ???? MgB2 ?? ???? ??????
??????????
???? ????? ? ?????????????? ???? ????? ?? ???? ?? ?????? ex situ ?? ???? Mg ?????. ???? ??? ??????? MgB2 ??? ? ??? ???????? ?????. ?? ???? ????? HPCVD ???????? ?? ????? ???? ?? ??? ???????? MgB2 ???? ?? ???? ???? ?? ???? ???? ???? ????? ??????? ??????? ??????? ???? ???????? ???? ????? ??????? ????????? ????? ??? ???.
??
?????? ???
???? ????? Mg-B? ???? ???? Mg ???? ???? ???? ??? ???????????? MgB2 ?? ???? ???? ???? ???? ???. MgB2 ??
????? ???
??? ? ?? ????? ?? ???? Mg / B ?????? ??
???????????
?: ? ????? ?? Mg ????? ?? ???? ???? ?? ??? ??? ???? ??????? ? ????? ??????. ??????? ?????? ?? MgB2 ????? ??????? ???? ???? ??????? ???? ????? ?? ???? ????? ?? ????? ???? ???? ????????? ???? ???? ??? ?? ?? ????? ??? ????? ???? ???? Mg ???? ?? ????? ????????? ???? ???? MgB2 ??????.
???????? ????
[
??????
]
?? ?? ?????? ???? ?? ??????? ???? ?? ????? ?????? ???? HPCVD? ??? ???? ??? ??????? H2 ?? ?? ???? ???? 100 Torr ???? ????????. ??? ???? H2 ?? ?????????? ?? ??? ???? ??????? ??????. ???? Mg ???? ?????? ???? ?? ???? ??????? ?? ????? ???????? ???? ???????. ?????? ?? ?????? ?? ???? ???
???? ?????????
??? ??????? ???????? Mg ???? ??? ??? ??????? ?? ???? ?? ?????? ???? ???? Mg ?? ?????? ???? ??????. Diborane (B2H6) ?? ????? ???? ??? ??????? ??????. ???????? MgB2 ???? ?? ??? ???????? ????? ?? ??? B2H6 ??? ???? ??? ?? ???? ???? ?????? ???? ??????. ??? ??? ???? MgB2 ?? ???? ????? ????? B2H6 / H2 ????? ??????. ?????? ?? ??? ??? ???? ??? ???? ?? ????? ??? ??????? ??? ???? ????? ??????.
???????? ?????? ?????
[
??????
]
???? ????? ?????? ?????? ???? ?? ????? ?????? ?????????? ?? ????? ????? ???????? ????? ??? ?? ????????? ?? ?? ??????? ????? ????. ????? HPCVD ?????? ?? ??? ?????? ???? ????? ???????? ???? MgB2 ???? ?? ????? ???? ???. ???? MgB2 ?????? ????? ???????? ?? ???? ???? ?? ?? ?????? ???? ????? ???????? MgB2 ???? ?? ???? ??? ???????? ?? ?? ?????? ???? ??? ???? ?????? ????????? ??? ???? ?????? ??? (???????????????) ??????? ?? ??? ???? ??? ???. ???????? ???? MgB2 ?????? ???? ???? HPCVD ????? ????? ?????? ?????? ?????? (Hc2) ?????. Hc2 ??? ?? 60 T ?? ???? ????? ????? ?????? ?????? ?? ????? ???????? ????? ?? plane ab ???.
???????? ??????
[
??????
]
- X.H. Zeng et al. , (2002). "In situ epitaxial MgB
2
thin films for superconducting electronics". Nature Materials 1, 35-38.
??????? CS1: ?????????? ????? (
link
)
- X.X. Xi et al. , (2007). "MgB
2
thin films by hybrid physical-chemical vapor deposition". Physica C 456, 22-37.
??????? CS1: ?????????? ????? (
link
)
- ?????????????? ?????????. ≪
Hybrid physical-chemical vapor deposition
≫. ??
????????? ?????????? ???????
? ??????????? ?? ?? ????? ????.