Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer IPMS CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft . Als eines von funf Geschaftsfeldern des Fraunhofer-Institut fur Photonische Mikrosysteme (IPMS) betreibt das Fraunhofer IPMS CNT einen eigenen Reinraum fur Erprobungs- und Evaluierungsdienstleistungen fur Materialien und Prozesse der Halbleitertechnik unter Industriebedingungen. Dabei stehen Prozessanlagen die Herstellung moderner Halbleiterprodukte primar auf 300-mm- Wafern zur Verfugung, unter anderem fur Atomlagenabscheidung , chemisch-mechanisches Polieren , Kupfer- Plattieren und Elektronenstrahllithografie (E-Beam). ^[1]

Das Fraunhofer IPMS ist Mitglied in zahlreichen Forschungsnetzwerken, unter anderem dem Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VμE).

Das Center Nanoelektronische Technologien wurde am 31. Mai 2005 als offentlich-private Partnerschaft mit zwischen AMD (heute Globalfoundries ), Infineon (spater Qimonda ) und der Fraunhofer-Gesellschaft als eigenstandige Einrichtung gegrundet. ^[2] Nach der Insolvenz von Qimonda (2009) fiel nicht nur ein Hauptkooperationspartner weg, und somit ein wesentlicher Teil der Finanzierung, sondern auch die Weiternutzung des 800 Quadratmeter großen Reinraums auf Gelande von Qimonda war fraglich. ^[3]

Am 16. Oktober 2012 beschloss der Senat der Fraunhofer-Gesellschaft die das Fraunhofer CNT nicht mehr als eigenstandige Einrichtung, sondern ab dem 1. Januar 2013 als Teil des Fraunhofer-Institut fur Photonische Mikrosysteme fortzufuhren. ^[4]

Im August 2019 kundigte Infineon, das mittlerweile wieder Eigentumer des ehemaligen Betriebsgelandes von Qimonda geworden war, dem Fraunhofer CNT die Raumlichkeiten (vor allem dem Reinraum) aus Eigenbedarf. ^[5] Es folgte die Suche nach einer neuen Raumlichkeit, die im ehemaligen Standort der Plastic Logic Germany GmbH nahe Globalfoundries gefunden wurde. Der Umzug erfolgte 2020/2021. ^[6]

• Entwicklung neuer Materialien und Schichtsysteme fur den Einsatz in der Halbleiterfertigung
• Metrologie und Analytik ? Screening von Verbrauchsmitteln und Bestimmung von Schichtparametern und Eigenschaften in der Fertigungslinie ( inline ) und im Labor
• Prozess- und Technologieintegration zur Umsetzung von Forschungsergebnissen in die Fertigung:
  • Energieeffiziente Speicherlosungen ( Energy Harvesting , Lithiumbatterie )
  • Ferroelectric Random Access Memory (FRAM)
  • Nichtfluchtiger Datenspeicher (NVM)
  • MEMS -Sensoren

• Jahresberichte ? Fraunhofer IPMS. In: Fraunhofer-Institut fur Photonische Mikrosysteme. Abgerufen am 27. Marz 2021 (inklusive Jahresberichte ?Center Nanoelectronic Technologies“).  

1. ↑ 300 mm Wafer Services. (PDF) In: Screening Fab Services: Center Nanoelectronic Technologies (CNT). 29. Mai 2018, abgerufen am 27. Marz 2021 .  
2. ↑ Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT feierlich eroffnet, Infineon Technologies AG, Pressemitteilung ? PresseBox. 31. Mai 2005, abgerufen am 27. Marz 2021 .  
3. ↑ Forschen nach der Qimonda-Insolvenz. In: Der Tagesspiegel. 20. Marz 2009, abgerufen am 27. Marz 2021 .  
4. ↑ Fraunhofer-Institut fur Photonische Mikrosysteme IPMS (Hrsg.): Jahresbericht 2012 . Dresden 2013, Abschnitt: Fraunhofer CNT wird Abteilung des Fraunhofer IPMS , S.   41 ( fraunhofer.de [PDF; abgerufen am 27. Marz 2021]).  
5. ↑ Heiko Weckbrodt: Fraunhofer-Zentrum zieht in stillgelegte ?Plastic Logic“-Fabrik ein. In: Oiger. 28. August 2019, abgerufen am 27. Marz 2021 .  
6. ↑ Fraunhofer-Institut fur Photonische Mikrosysteme IPMS (Hrsg.): Jahresbericht 2019 . Dresden 2020 ( fraunhofer.de [PDF; abgerufen am 27. Marz 2021]).  

51.12650970184 13.733524086507 Koordinaten: 51° 7′ 35,4″  N , 13° 44′ 0,7″  O